真空井式坩埚炉

真空井式坩埚炉

本设备是由石英坩埚（或氧化铝陶瓷坩埚）和不锈钢法兰组成的真空坩埚炉。主要用于煅烧真空或惰性气体保护下的高纯度化合物或扩散半导体晶片，也可用于烘烧或烧结陶瓷材料。

型号 JZJL1200 JZJL1400 JZJL1700

工作温度 ＞1200℃ ＞1400℃ ＞1700℃

加热元件 电阻丝 硅碳棒 硅钼棒

热电偶 K型 S型 B型

控温方式 30段可编程自动控制，PID调节控温精度

大真空度 -0.1MPa

炉膛材料 陶瓷纤维板

炉壳 双层炉壳，风冷结构（炉底安装两个散热风扇），炉壳表面温度低于60度

额定功率 1KW—8KW

常用炉膛尺寸 Φ40xH300mm；Φ60xH300mm；Φ80xH300mm；Φ100xH300mm, Φ120xH300mm   Φ300xH300mm         

四、温控程序对应符号及其意义：

提示符 输入数据 意义

C 01 0 起始温度值

t 01 60 从0~300℃的升值时间为60分钟

C 02 300 目标温度值

t 02 10 300℃保温时间10分钟

C 03 300 第二个目标温度值

t 03 240 从300~1500℃的升值时间为240分钟

C 04 1500 第三个目标温度值

t 04 30 1500℃恒温时间10分钟

C 05 1500 第四个目标温度值

t 05 260 从1500~200℃的升值时间为260分钟

C 06 200 第五个目标温度值

t 06 －121 程序运行结束，自然降温

五、常见故障及故障排除 

故障现象 故障原因 排除方法

打开控制电源开关Lock无电源指示 控制线路FU1 4A保险丝断 检查有无短路排除后更换保险丝

绿色Power指示灯灭，红色Open circuit指示灯亮。 主电路FU2 32A保险丝断 检查有无短路排除后更换保险丝

电压 大，无电流。 硅钼棒断裂 更换硅钼棒

仪表SV交替显示OraL 热电偶断路 更换热电偶

仪表SV交替显示HIAL 炉体超过上限温度1700℃仪表起保护 温度降至安全温度后仪表自动恢复正常（检查超温原因）

电源及硅钼棒都正常，但炉体不能升温 控制线路损坏 通知专业维修人员。